สนับสนุนที่กำหนดเอง
OEM, ODM, OBM
สถานที่กำเนิด
Shanghai, China
ช่วงองค์ประกอบการวัด
จากมก. ถึงยู
ช่วงเนื้อหาการวัด
เนื้อหา ppm ~ 99.99%, ความหนาของฟิล์ม1um ~ 60um
ขนาดเครื่องมือ
480มม. * 450มม. * 305มม.
เครื่องตรวจจับ
เครื่องตรวจจับดริฟต์ซิลิคอนประสิทธิภาพสูง
ตัวกรอง
การรวมตัวกรอง6บิตที่สามารถตั้งโปรแกรมได้การสลับอัตโนมัติ
แอพพลิเคชั่นซอฟต์แวร์
Elemtrack